技术服务
Technical Service
光刻镜头服务
强大技术售后团队，可进行翻修装机调试！由多年从事光刻机相关生产、维修、保养、调试资深工程技术人员的专业技术团队
WL单元改造WL unit renovation
WL可以根据客户产品工艺进行改造成2寸、4寸、6寸、8寸，满足不同客户需求
RL单元改造RL unit renovation
RL可以根据客户使用的不同光罩进行改造成5寸、6寸
OF机构改造Transformation OF mechanism
可根据不同的衬底材质、不同寻边方式进行改造。改造后可满足透明片、半透明片等不同衬底材质，不同寻边方式的需求
STAGE部分改造STAGE partial transformation
STAGE根据客户的产品工艺，衬底材质改造，可以满足2寸、4寸、6寸、8寸工艺